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Le C.M.E.B.A. dispose de deux microscopes électroniques à balayage de marque JEOL :

Un MEB à effet de champ JSM 7100F destiné à produire des images en haute résolution. Il possède des détecteurs pour l'analyse chimique quantitative de tous les éléments du tableau périodique depuis le bore jusqu'à l'uranium. Divers matériaux solides peuvent y être imagés et analysés : polymères, composites, céramiques, semiconducteurs, métaux, verres.

Caractéristiques Techniques :

  • Source à émission de champ type Schottky
  • Résolutions : 2nm à 1kV - 1.6nm à 5kV - 1.2nm à 15kV
  • Courant de sonde de 1pA à 600nA
  • Mesure de courant intégré
  • Détecteur d'électrons secondaires type Everhart-Thornley
  • Détecteur d'électrons rétrodiffusés aux faibles angles (SRBEI)
  • Détecteurs d'électrons secondaires et rétrodiffusés in-lens
  • Détecteur EDS SDD X-Max 80mm2 Oxford Instruments AZtecEnergy
  • Détecteur EBSD AZtec HKL Advanced Nordlys Nano équipé de 4 détecteurs FSD couplé à l'EDS
  • Date d'acquisition : juin 2013

Un MEB à effet de champ JSM 6301F destiné à l'observation d'échantillons secs, conducteurs ou faiblement isolants, avec une excellente résolution, en particulier à basse tension.